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冷场的束流比较小,分辨率比较大,电子枪寿命长。不过束流不是很稳定,分析功能比较差,顶多可以做能谱分析,勉强可以做EBSD。而且电子枪受真空干扰影响较大,得周期性地进行轰击,烘烤。
热场的束流相对比较大,而且稳定,分析功能十分强大,EDS,WDS,CL,EBSD等等几乎都可以。分辨率虽然也不差,可是比不过冷场。而且电子枪寿命短,后期维护消耗较大。欧美的厂家换热场电子枪的时候,一般采取枪部分整体换的举措(镜筒,离子泵全换),所以消耗可见一般。
来源:网络
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