透射电子显微镜的制样方法是TEM分析中至关重要且技术性极强的环节,其直接决定了观测的成败与数据的可靠性。制样的核心目标是获得对电子束“透明”
且能代表样品本征结构的薄区。
样品类型与制样方法
1. 粉末样品制样
(1) 溶液分散-滴落法
适用:纳米颗粒材料或微米颗粒样品具有较薄边缘
步骤:
选择合适的支持膜(超薄碳膜、微栅铜网等)
选择分散剂(通常为无水乙醇)
超声或搅拌将粉末分散成悬浮液
将悬浮液滴在支持膜上,待干燥后即可观察
(2) 胶粉混合法
适用:磁性粉末样品且观察倍数不高
步骤:
在玻璃片上滴火棉胶溶液
加入粉末并搅匀
用另一玻璃片对研后突然抽开
将膜片划成小方格,斜插入水杯中使膜片脱落
用铜网捞取方形膜用于TEM观察
2. 块状样品制样
(1) 机械减薄法(适用于金属、陶瓷等)
步骤:
初减薄:用金刚石锯切割成100-300μm薄片
圆片切取:用冲床或电火花切割获取3mm圆片
预减薄:用研磨机将圆片减薄至10-30μm
终减薄:
金属:电解抛光
陶瓷/非金属:离子轰击
(2) 电解双喷法
适用:导电的金属样品
特点:速度快,无机械损伤,但可能改变表面电子状态
步骤:
样品裁剪成3mm圆片
研磨抛光至<100μm
凹坑处理至中心厚度10-30μm
电解双喷减薄至足够薄区
(3) 离子减薄法
适用:非导电的陶瓷、复合材料等
特点:不受材料电性能影响,适用于金属、非金属、复合物
步骤:
样品裁剪成3mm圆片
研磨抛光至<80μm
凹坑处理至中心厚度10-30μm
离子轰击减薄,可使用液氮冷却样品
(4) 聚焦离子束(FIB)技术
特点:可实现纳米级精密切割,适用于指定区域制样
应用:复杂结构样品、界面样品、纳米颗粒等
3. 生物样品制备(超薄切片技术)
标准流程(六步法)
取材:快、小、冷、准组织体积<1mm³
取材后1分钟内投入固定液
低温操作(0-4℃)
固定:双固定法戊二醛(前固定,2.5%,2h)
锇酸(后固定,1%,2-3h)
脱水:梯度乙醇或丙酮脱水50%→70%→90%→100%乙醇/丙酮
包埋:环氧树脂包埋渗透:纯丙酮+包埋液(2:1)→(1:2)
包埋:37℃过夜→45℃12h→60℃48h
超薄切片:切片厚度50-70nm使用超薄切片机和玻璃刀/钻石刀
切片厚度通过干涉色判断(银白色为理想)
电子染色:醋酸铀-柠檬酸铅双重染色先染铀后染铅,增强图像反差
来源:网络